Halbleiterfertigung
Anwendungen
Pumpen für die Halbleiterkühlung
Magnetgekuppelte Kreiselpumpen von Sanso für Präzisionskühlung und Tieftemperatur-Chiller in der Halbleiterfertigung. Dichtungslos, kompakt und für den Dauerbetrieb mit Galden und Fluorinert ausgelegt.
Kühlung in der Halbleiterindustrie
Der Halbleitermarkt wächst schnell — getrieben von KI, IoT und Automobilelektronik. Diese Anwendungen verlangen immer präzisere Temperaturregelung und Kühlsysteme für sehr tiefe Temperaturen. Pumpen müssen dabei hohen Wirkungsgrad, kompakte Abmessungen und dauerhafte Zuverlässigkeit verbinden.
Typische Auslegungsparameter
Sanso DC — Halbleiterkühlung
Werte über die Sanso DC-Baureihe. Modellspezifische Daten im jeweiligen Datenblatt.
Sanso in der Halbleiterkühlung
Technologie
Fertigung
Empfohlene Sanso-Pumpen für die Halbleiterkühlung
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Techma GPM unterstützt OEMs und Systemintegratoren bei Auswahl, Auslegung und Integration magnetgekuppelter Pumpen für die Halbleiterkühlung. Senden Sie uns Ihre Auslegungsdaten — Medium, Temperatur, Förderstrom und Förderhöhe.
Technische Prüfung anfragenHäufige Fragen
Welche Pumpentechnologie eignet sich für Tieftemperatur-Chiller?
Für Chiller, die bei Temperaturen bis zu -100 °C arbeiten, eignen sich bürstenlose DC-Kreiselpumpen mit Magnetkupplung — wie die Sanso-Baureihen PDH und PDH2 — am besten. Die dichtungslose Bauweise schließt das Risiko von Leckagen aus und gewährleistet einen stabilen Förderstrom sowie zuverlässige Leistung mit Medien wie Galden oder Fluorinert.
Können die Pumpen für OEM-Anwendungen angepasst werden?
Ja, Techma GPM und Sanso bieten vollständig anpassbare Lösungen für OEM-Anwendungen. Elektronik, Werkstoffe, Anschlüsse und Leistungskurven können individuell angepasst werden, um eine optimale Integration in Kühlsysteme für die Halbleiterfertigung zu gewährleisten.
Welche Medien sind zulässig?
Für die Halbleiterkühlung sind Sanso-Pumpen mit Magnetkupplung in erster Linie für Galden und Fluorinert freigegeben — perfluorierte Wärmeträgerflüssigkeiten, die in der Halbleiterfertigung aufgrund ihrer chemischen Inertheit und dielektrischen Eigenschaften Standard sind. Je nach Modell und Betriebspunkt reicht der nutzbare Temperaturbereich von etwa -100 °C (Tieftemperatur-Chiller) bis +120 °C.
Für andere Medien oder Temperaturbereiche außerhalb dieser Angaben empfehlen wir eine technische Prüfung über das Kontaktformular, da die Eignung je nach Werkstoff und Betriebsbedingung variieren kann.