Halbleiterfertigung

Anwendungen

Pumpen für die Halbleiterkühlung

Magnetgekuppelte Kreiselpumpen von Sanso für Präzisionskühlung und Tieftemperatur-Chiller in der Halbleiterfertigung. Dichtungslos, kompakt und für den Dauerbetrieb mit Galden und Fluorinert ausgelegt.

Kühlung in der Halbleiterindustrie

Der Halbleitermarkt wächst schnell — getrieben von KI, IoT und Automobilelektronik. Diese Anwendungen verlangen immer präzisere Temperaturregelung und Kühlsysteme für sehr tiefe Temperaturen. Pumpen müssen dabei hohen Wirkungsgrad, kompakte Abmessungen und dauerhafte Zuverlässigkeit verbinden.

Zunehmender Einsatz von Tieftemperatur-Chillern
Kompakte, leichte Bauformen für geringeren Systembauraum
Hocheffiziente Motoren mit optimierter Hydraulik
Geringerer CO?-Fußabdruck und Kältemitteleinsatz

Typische Auslegungsparameter

Sanso DC — Halbleiterkühlung

Flüssigkeitstemperatur[DA CONFERMARE]
Förderstrom[DA DATENBLATT]
Förderhöhe[DA DATENBLATT]
Spannung200 / 400 V
MedienGalden, Fluorinert, Wasser, Glykol-Wasser-Gemische

Werte über die Sanso DC-Baureihe. Modellspezifische Daten im jeweiligen Datenblatt.

Sanso in der Halbleiterkühlung

Technologie

Magnetkupplung: keine Wellendichtung, keine Leckage
Bürstenlose DC-Motoren, drehzahlregelbar
Kompakte, leichte Bauform für dichte OEM-Layouts

Fertigung

Motoren und Pumpen aus eigener Fertigung
OEM-spezifische Konfigurationen möglich
Ausgelegt für kontinuierlichen Dauerbetrieb

Empfohlene Sanso-Pumpen für die Halbleiterkühlung

Sanso PDH-1502100 l/min · 6.2 bar
Sanso PDH-2202130 l/min · 9.8 bar
Sanso PDH-3202150 l/min · 9.3 bar
Sanso PDH2-320150 l/min · 19.2 bar

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Techma GPM unterstützt OEMs und Systemintegratoren bei Auswahl, Auslegung und Integration magnetgekuppelter Pumpen für die Halbleiterkühlung. Senden Sie uns Ihre Auslegungsdaten — Medium, Temperatur, Förderstrom und Förderhöhe.

Technische Prüfung anfragen

Häufige Fragen

Welche Pumpentechnologie eignet sich für Tieftemperatur-Chiller?

Für Chiller, die bei Temperaturen bis zu -100 °C arbeiten, eignen sich bürstenlose DC-Kreiselpumpen mit Magnetkupplung — wie die Sanso-Baureihen PDH und PDH2 — am besten. Die dichtungslose Bauweise schließt das Risiko von Leckagen aus und gewährleistet einen stabilen Förderstrom sowie zuverlässige Leistung mit Medien wie Galden oder Fluorinert.

Können die Pumpen für OEM-Anwendungen angepasst werden?

Ja, Techma GPM und Sanso bieten vollständig anpassbare Lösungen für OEM-Anwendungen. Elektronik, Werkstoffe, Anschlüsse und Leistungskurven können individuell angepasst werden, um eine optimale Integration in Kühlsysteme für die Halbleiterfertigung zu gewährleisten.

Welche Medien sind zulässig?

Für die Halbleiterkühlung sind Sanso-Pumpen mit Magnetkupplung in erster Linie für Galden und Fluorinert freigegeben — perfluorierte Wärmeträgerflüssigkeiten, die in der Halbleiterfertigung aufgrund ihrer chemischen Inertheit und dielektrischen Eigenschaften Standard sind. Je nach Modell und Betriebspunkt reicht der nutzbare Temperaturbereich von etwa -100 °C (Tieftemperatur-Chiller) bis +120 °C.

Für andere Medien oder Temperaturbereiche außerhalb dieser Angaben empfehlen wir eine technische Prüfung über das Kontaktformular, da die Eignung je nach Werkstoff und Betriebsbedingung variieren kann.